Développer des gaz de nettoyage plus écologiques pour l’industrie des semi-conducteurs

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Allemagne | Science de la terre, de l’univers et de l’environnement : énergie, transports, espace, environnement
18 décembre 2015

Des chercheurs de l’institut Fraunhofer pour les microsystèmes et les corps solides (EMFT) de Munich (Bavière) ont lancé le projet "ecoFluor" en partenariat avec un consortium d’entreprises du secteur de la chimie et des semi-conducteurs. L’objectif est de tester un nouveau gaz de nettoyage pour les procédés de fabrication des semi-conducteurs qui soit plus écologique que le trifluorure d’azote (NF3), habituellement utilisé. En effet, l’effet de serre potentiel de ce dernier serait 17 000 fois supérieur à celui du dioxyde de carbone (CO2).

La production de semi-conducteurs nécessite une propreté irréprochable des différentes machines-outils, aussi est-il nécessaire de nettoyer les plans de travail et les produits semi finis après chaque étape de fabrication. Le nouveau gaz développé par l’entreprise Solvay et distribué par l’entreprise Muegge est à base de diazote (N2), d’argon (Ar) et de difluor (F2), mais sa teneur en fluor est de 20% inférieur au NF3. L’effet de serre potentiel de ce gaz serait bien moindre et comparable à celui du CO2.

Les premiers tests pilotes vont être effectués sur les sites allemands de l’entreprise Texas Instruments à partir de janvier 2016. La composition du gaz et ses modalités d’utilisation seront ainsi ajustées pour préparer sa commercialisation au niveau international.

Le Ministère fédéral de l’Enseignement et de la Recherche (BMBF) va financer une partie du développement à hauteur de 700 000 € via son projet "r+Impuls" du programme cadre de recherche pour le développement durable (FONA). Le reste du financement sera apporté par les partenaires industriels.

Plus d’informations :

Source : "Umweltfreundliches Reinigungsgas schont das Klima", Communiqué de presse du BMBF, 11/12/2015 – https://www.bmbf.de/de/umweltfreundliches-reinigungsgas-schont-das-klima-2174.html?pk_campaign=RSS&pk_kwd=Aktuell

Rédacteur : Sean Vavasseur, sean.vavasseur[at]diplomatie.gouv.fr – www.science-allemagne.fr